電暈放電法臭氧發生器

臭氧的性質：臭氧O3是氧氣O2的同素異形體，組成元素相同，構成形態相異，性質差異很大。臭氧的氧化能力很強，其氧化還原電位僅次于F2。臭氧穩定性非常差，容易分解。

臭氧的產生機理

利用高速電子轟擊氧氣，其分解成氧原子：

e+O2→20+e

高速電子具有足夠的動能（6~7eV），緊接著通過三體碰撞反應形成臭氧：

O+O2→O3

原子氧和電子也同樣同臭氧反應形成氧氣：

O+O3→2O2

e+O3→O+O2+e

電暈放電法臭氧發生器（無聲放電或輝光發電法）就是一種干燥的含氧氣體流過電暈放電區產生臭氧的方法。常用的原料氣體有：氧氣、空氣以及含有氮、二氧化碳，或許還有其它惰性稀釋氣體的含氧混合氣體。

電暈內的氣體是處于可促進臭氧分解反應的高溫下，所以凈臭氧產量或出口產氣組成是形成和分解臭氧所有反應的總和。凈產率依眾多因素而變，包括：原料氣的氧氣含量和溫度、原料氣含的污染物、達到的臭氧濃度、電暈中的功率密度、冷卻劑的溫度和流量及冷卻系統的效率。這些因素都影響著實用的、經濟上有吸引力的臭氧發生器和系統的設計。

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